Control y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricación

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dc.contributor.advisorJaramillo Ocampo, Juan Manuel
dc.contributor.advisorVelásquez López, Alejandro
dc.contributor.authorGuzmán Díaz, Sebastián
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.creator.degreeIngeniero Mecánicospa
dc.creator.emailSebastián Guzmán Díaz (sguzmand@eafit.edu.co)spa
dc.date.accessioned2014-10-07T15:31:11Z
dc.date.available2014-10-07T15:31:11Z
dc.date.issued2009
dc.identifier.other621.3815CDG933
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/4287
dc.language.isospaspa
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.publisher.departmentEscuela de Ingeniería. Departamento de Ingeniería Mecánicaspa
dc.publisher.programIngeniería Mecánicaspa
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesseng
dc.rights.localAcceso abiertospa
dc.subjectMicrofabricaciónspa
dc.subjectMicrolitografíaspa
dc.subject.keywordMicroelectronicsspa
dc.subject.keywordIntegrated circuitsspa
dc.subject.keywordSemiconductorsspa
dc.subject.keywordSemiconductor nanocrystalsspa
dc.subject.keywordPressure transducersspa
dc.subject.keywordPyro- and piezo-electricityspa
dc.subject.keywordMachine-toolsspa
dc.subject.keywordMotorsspa
dc.subject.keywordMicromechanicsspa
dc.subject.lembMICROELECTRÓNICAspa
dc.subject.lembCIRCUITOS INTEGRADOSspa
dc.subject.lembSEMICONDUCTORESspa
dc.subject.lembNANOCRISTALES SEMICONDUCTORESspa
dc.subject.lembTRANSDUCTORES DE PRESIÓNspa
dc.subject.lembPIROELECTRICIDAD Y PIEZOELECTRICIDADspa
dc.subject.lembMÁQUINAS HERRAMIENTASspa
dc.subject.lembMOTORESspa
dc.subject.lembMICROMECÁNICAspa
dc.titleControl y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricaciónspa
dc.typebachelorThesiseng
dc.type.hasVersionacceptedVersioneng
dc.type.localTrabajo de gradospa

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