Nanoindentation based on force spectroscopy with an atomic force
Fecha
2008-12-01
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Editor
Universidad EAFIT
Resumen
Descripción
An implementation of the method for surface indentation based on Atomic Force Microscopy (AFM), is presented. The implementation was done using the Force Spectroscopy (FS) usually enabled on this instruments which allow vertical movement of the AFM tip without lateral displacement. Determination of the sensitive factor of the AFM cantilever was necessary to know the applied forces in the indentation process. Force versus depth curves similar to Depth–Sensing Indentation (DSI) curves were obtained however these cannot be used for mechanical diagnostics with Oliver & Pharr method. Indentations about 1 nm and 50 nm of depth on polycrystalline Silicon and 6261 Aluminium alloy respectively were produced. These open important applicationsin materials nanotechnology.
Se presenta una implementación del método para el sangrado de superficie basado en Microscopía de Fuerza Atómica (AFM). La implementación se realizó utilizando la espectroscopía de fuerza (FS) generalmente habilitada en estos instrumentos que permiten el movimiento vertical de la punta AFM sin desplazamiento lateral. La determinación del factor sensible del voladizo AFM fue necesaria para conocer las fuerzas aplicadas en el proceso de sangría. Se obtuvieron curvas de fuerza versus profundidad similares a las curvas de sangría de detección de profundidad (DSI), sin embargo, estas no pueden usarse para diagnósticos mecánicos con el método de Oliver y Pharr. Se produjeron hendiduras de aproximadamente 1 nm y 50 nm de profundidad sobre silicio policristalino y aleación de aluminio 6261, respectivamente. Estas abren importantes aplicaciones en materiales nanotecnológicos.
Se presenta una implementación del método para el sangrado de superficie basado en Microscopía de Fuerza Atómica (AFM). La implementación se realizó utilizando la espectroscopía de fuerza (FS) generalmente habilitada en estos instrumentos que permiten el movimiento vertical de la punta AFM sin desplazamiento lateral. La determinación del factor sensible del voladizo AFM fue necesaria para conocer las fuerzas aplicadas en el proceso de sangría. Se obtuvieron curvas de fuerza versus profundidad similares a las curvas de sangría de detección de profundidad (DSI), sin embargo, estas no pueden usarse para diagnósticos mecánicos con el método de Oliver y Pharr. Se produjeron hendiduras de aproximadamente 1 nm y 50 nm de profundidad sobre silicio policristalino y aleación de aluminio 6261, respectivamente. Estas abren importantes aplicaciones en materiales nanotecnológicos.