Síntesis de películas delgadas por la técnica de magnetrón Sputtering a partir de blancos de Renio y Boro
Fecha
2017
Autores
Angarita Gutiérrez, Luis Guillermo
Título de la revista
ISSN de la revista
Título del volumen
Editor
Universidad EAFIT
Resumen
En esta investigación se propuso la síntesis de recubrimientos de Renio y Boro por la técnica de co-deposición en magnetrón sputtering, para lo cual se utilizó un blanco de Renio de 99.99 % de pureza pulverizado con una fuente DC y dos blancos de Boro al 99.99 % de pureza pulverizados con una fuente RF -- Se produjeron 10 muestras que fueron elaboradas siguiendo un diseño de experimentos tipo factorial completo 23, con 2 experimentos adicionales donde se modificaron las potencias de trabajo, la temperatura de los sustratos y se realizó un tratamiento térmico a 600 ºC, dejando constantes los demás parámetros -- Las propiedades morfológicas de los recubrimientos fueron caracterizadas mediante Microscopía de Fuerza Atómica (MFA) y Microscopía Electrónica de Barrido (MEB), con el fin de identificar las características microestructurales de cada recubrimiento -- La composición química se determinó utilizando Espectroscopía de Energía Dispersiva (EDS) encontrándose una gran cantidad de Renio y Oxígeno en los recubrimientos -- Las propiedades estructurales se evaluaron mediante Difracción de Rayos X (DRX), Microscopía Electrónica de Transmisión (MET) y microRaman -- Los análisis realizados a partir de estos resultados evidenciaron que el Renio y el Boro no reaccionaron para formar fases cristalinas del sistema Re-B, pero por su parte se logró la formación preferencial de la fase cristalina denominada ácido rénico monohidratado (ReH3O5) para la cual, reporta la literatura, existe un marcado interés en procesos de catálisis, especialmente en la hidrogenación de aldehídos, ácidos carboxílicos y de carboxamidas