Síntesis de películas delgadas por la técnica de magnetrón Sputtering a partir de blancos de Renio y Boro

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dc.contributor.advisorPalacio Espinosa, Claudia Constanza
dc.contributor.authorAngarita Gutiérrez, Luis Guillermo
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.creator.degreeMagíster en Física Aplicadaspa
dc.creator.emaillangari3@eafit.edu.cospa
dc.date.accessioned2017-11-15T01:58:34Z
dc.date.available2017-11-15T01:58:34Z
dc.date.issued2017
dc.description.abstractEn esta investigación se propuso la síntesis de recubrimientos de Renio y Boro por la técnica de co-deposición en magnetrón sputtering, para lo cual se utilizó un blanco de Renio de 99.99 % de pureza pulverizado con una fuente DC y dos blancos de Boro al 99.99 % de pureza pulverizados con una fuente RF -- Se produjeron 10 muestras que fueron elaboradas siguiendo un diseño de experimentos tipo factorial completo 23, con 2 experimentos adicionales donde se modificaron las potencias de trabajo, la temperatura de los sustratos y se realizó un tratamiento térmico a 600 ºC, dejando constantes los demás parámetros -- Las propiedades morfológicas de los recubrimientos fueron caracterizadas mediante Microscopía de Fuerza Atómica (MFA) y Microscopía Electrónica de Barrido (MEB), con el fin de identificar las características microestructurales de cada recubrimiento -- La composición química se determinó utilizando Espectroscopía de Energía Dispersiva (EDS) encontrándose una gran cantidad de Renio y Oxígeno en los recubrimientos -- Las propiedades estructurales se evaluaron mediante Difracción de Rayos X (DRX), Microscopía Electrónica de Transmisión (MET) y microRaman -- Los análisis realizados a partir de estos resultados evidenciaron que el Renio y el Boro no reaccionaron para formar fases cristalinas del sistema Re-B, pero por su parte se logró la formación preferencial de la fase cristalina denominada ácido rénico monohidratado (ReH3O5) para la cual, reporta la literatura, existe un marcado interés en procesos de catálisis, especialmente en la hidrogenación de aldehídos, ácidos carboxílicos y de carboxamidasspa
dc.identifier.local621.38152CD A581
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/11822
dc.language.isospaspa
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.publisher.departmentEscuela de Ciencias. Departamento de Ciencias Básicasspa
dc.publisher.programMaestría en Física Aplicadaspa
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesseng
dc.rights.localAcceso abiertospa
dc.subjectMicroscopia Electrónica de Barridospa
dc.subjectCaracterización morfológicaspa
dc.subjectCaracterización químicaspa
dc.subjectCaracterización estructuralspa
dc.subject.keywordRheniumspa
dc.subject.keywordBoronspa
dc.subject.keywordAtomic force microscopyspa
dc.subject.keywordX-ray spectroscopyspa
dc.subject.keywordThin filmsspa
dc.subject.keywordSputtering (Physics)spa
dc.subject.keywordExperimental designspa
dc.subject.keywordX-rays - diffractionspa
dc.subject.keywordTransmission electron microscopyspa
dc.subject.lembRENIOspa
dc.subject.lembBOROspa
dc.subject.lembMICROSCOPIA DE FUERZA ATÓMICAspa
dc.subject.lembESPECTROSCOPIA DE RAYOS-Xspa
dc.subject.lembPELÍCULAS DELGADASspa
dc.subject.lembPULVERIZACIÓN CATÓDICA (FÍSICA)spa
dc.subject.lembDISEÑO EXPERIMENTALspa
dc.subject.lembDIFRACCIÓN DE RAYOS Xspa
dc.subject.lembMICROSCOPIA ELECTRÓNICA DE TRANSMISIÓNspa
dc.titleSíntesis de películas delgadas por la técnica de magnetrón Sputtering a partir de blancos de Renio y Borospa
dc.typemasterThesiseng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesiseng
dc.type.hasVersionacceptedVersioneng
dc.type.localTesis de Maestríaspa

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