Identification by force modulation microscopy of nanoparticles generated in vacuum arcs

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dc.citation.epage71
dc.citation.issue3
dc.citation.journalAbbreviatedTitleing.cienc.eng
dc.citation.journalTitleIngeniería y Cienciaeng
dc.citation.spage65
dc.citation.volume2
dc.contributor.affiliationUniversidad EAFITspa
dc.contributor.authorArroyave Franco, Mauriciospa
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.date2006-06-01
dc.date.accessioned2019-11-22T19:18:50Z
dc.date.available2019-11-22T19:18:50Z
dc.date.issued2006-06-01
dc.descriptionThis paper presents an alternative method based on force modulation microscopy (FMM), for the identification of nanogrobes produced in the plasma generated by the cathode spots of the arcs in a vacuum. The FMM technique is enabled for the detection of variations in the mechanical properties of a surface, with high sensitivity. Titanium nitride (TiN) coatings deposited on Silicon oriented by the pulsed arc process have been analyzed. Atomic force microscopy (AFM) and FMM microscopy images have been obtained simultaneously by means of which the presence of nanogotas has been identified. Additionally, X-ray diffraction spectra (XRD) have been taken from the coated samples. The existence of contaminating particles of 47 nanometers in diameter on the coatings has been reported.eng
dc.descriptionEn este trabajo se presenta un método alternativo basado en microscopia de modulación de fuerza (FMM), para la identificación de nanogotas producidas en el plasma generado por los spots catódicos de los arcos en vacío. La técnica FMM esta habilitada para la detección de variaciones en las propiedades mecánicas de una superficie, con alta sensibilidad. Se han analizado recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) depositados sobre Silicio orientado por el proceso de arco en vacío pulsado. Se han obtenido simultáneamente imágenes de microscopia de fuerza atómica (AFM) y de microscopia FMM mediante las cuales se ha podido identificar la presencia de nanogotas. Adicionalmente se han tomado espectros de difracción de rayos X (XRD) de las muestras recubiertas. Se ha reportado la existencia de partículas contaminantes de 47 nanómetros de diámetro sobre los recubrimientos.spa
dc.formatapplication/pdf
dc.identifier.issn2256-4314
dc.identifier.issn1794-9165
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/14563
dc.language.isoengeng
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.relation.isversionofhttp://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/486
dc.relation.urihttp://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/486
dc.rightsCopyright (c) 2006 Mauricio Arroyave Francoeng
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesseng
dc.rights.localAcceso abiertospa
dc.sourceinstname:Universidad EAFIT
dc.sourcereponame:Repositorio Institucional Universidad EAFIT
dc.sourceIngeniería y Ciencia; Vol 2, No 3 (2006)spa
dc.subject.keywordForce Modulationeng
dc.subject.keywordAtomic Forceeng
dc.subject.keywordNanogotaseng
dc.subject.keywordTineng
dc.subject.keywordTieng
dc.subject.keywordModulación De Fuerzaspa
dc.subject.keywordFuerza Atómicaspa
dc.subject.keywordNanogotasspa
dc.subject.keywordTinspa
dc.subject.keywordTispa
dc.titleIdentification by force modulation microscopy of nanoparticles generated in vacuum arcseng
dc.titleIdentificación por microscopía de modulación de fuerza de nanopartículas generadas en arcos de vacío.spa
dc.typearticleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleeng
dc.typepublishedVersioneng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioneng
dc.type.localArtículospa

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Ingeniería y Ciencia, Vol. 02, Núm. 03 (2006)