Identification by force modulation microscopy of nanoparticles generated in vacuum arcs
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Fecha
2006-06-01
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Editor
Universidad EAFIT
Resumen
Descripción
This paper presents an alternative method based on force modulation microscopy (FMM), for the identification of nanogrobes produced in the plasma generated by the cathode spots of the arcs in a vacuum. The FMM technique is enabled for the detection of variations in the mechanical properties of a surface, with high sensitivity. Titanium nitride (TiN) coatings deposited on Silicon oriented by the pulsed arc process have been analyzed. Atomic force microscopy (AFM) and FMM microscopy images have been obtained simultaneously by means of which the presence of nanogotas has been identified. Additionally, X-ray diffraction spectra (XRD) have been taken from the coated samples. The existence of contaminating particles of 47 nanometers in diameter on the coatings has been reported.
En este trabajo se presenta un método alternativo basado en microscopia de modulación de fuerza (FMM), para la identificación de nanogotas producidas en el plasma generado por los spots catódicos de los arcos en vacío. La técnica FMM esta habilitada para la detección de variaciones en las propiedades mecánicas de una superficie, con alta sensibilidad. Se han analizado recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) depositados sobre Silicio orientado por el proceso de arco en vacío pulsado. Se han obtenido simultáneamente imágenes de microscopia de fuerza atómica (AFM) y de microscopia FMM mediante las cuales se ha podido identificar la presencia de nanogotas. Adicionalmente se han tomado espectros de difracción de rayos X (XRD) de las muestras recubiertas. Se ha reportado la existencia de partículas contaminantes de 47 nanómetros de diámetro sobre los recubrimientos.
En este trabajo se presenta un método alternativo basado en microscopia de modulación de fuerza (FMM), para la identificación de nanogotas producidas en el plasma generado por los spots catódicos de los arcos en vacío. La técnica FMM esta habilitada para la detección de variaciones en las propiedades mecánicas de una superficie, con alta sensibilidad. Se han analizado recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) depositados sobre Silicio orientado por el proceso de arco en vacío pulsado. Se han obtenido simultáneamente imágenes de microscopia de fuerza atómica (AFM) y de microscopia FMM mediante las cuales se ha podido identificar la presencia de nanogotas. Adicionalmente se han tomado espectros de difracción de rayos X (XRD) de las muestras recubiertas. Se ha reportado la existencia de partículas contaminantes de 47 nanómetros de diámetro sobre los recubrimientos.