Influence of substrate temperature on the microstructure of TiN/TiC

dc.citation.epage82
dc.citation.issue14
dc.citation.journalAbbreviatedTitleing.cienc.eng
dc.citation.journalTitleIngeniería y Cienciaeng
dc.citation.spage71
dc.citation.volume7
dc.contributor.affiliationUniversidad Tecnológica de Pereiraspa
dc.contributor.affiliationUniversidad Tecnológica de Pereiraspa
dc.contributor.affiliationUniversidad Nacional de Colombia, sede Manizalesspa
dc.contributor.authorDevia, D Mspa
dc.contributor.authorMesa, Fernandospa
dc.contributor.authorArango, Pedro Joséspa
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.date2011-12-01
dc.date.accessioned2019-11-22T18:55:36Z
dc.date.available2019-11-22T18:55:36Z
dc.date.issued2011-12-01
dc.descriptionThe TiN / TiC bilayers were deposited using the plasma-assisted vapor phase deposition (PAPVD) -Arch Pulsed technique, varying the substrate temperature in a range of 100-120 ± C, with intervals of 5 ± C. The coatings were analyzed by means of XPS and XRD. From the treatment of the signals of the narrow spectra of XPS and the XRD patterns, the formation of the compounds TiN (Titanium Nitride), TiC (Titanium Carbide) and TiCN (titanium carbide) in the crystallographic phase was determined fm-3m corresponding to the FCC phases of these synthesized compounds.eng
dc.descriptionLas bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la técnica de deposición en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120±C, con intervalos de 5±C. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento de las señales de los espectros angostos de XPS y los patrones de XRD, se determino la formación de los compuestos TiN (Nitruro de Titanio), TiC (Carburo de Titanio) y TiCN (carbonitruro de titanio) en la fase cristalográfica fm-3m correspondiente a las fases FCC de estos compuestos sintetizados.spa
dc.formatapplication/pdf
dc.identifier.issn2256-4314
dc.identifier.issn1794-9165
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/14464
dc.language.isospaspa
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.relation.isversionofhttp://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/426
dc.relation.urihttp://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/426
dc.rightsCopyright (c) 2011 D M Devia, Fernando Mesa, Pedro José Arangoeng
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesseng
dc.rights.localAcceso abiertospa
dc.sourceinstname:Universidad EAFIT
dc.sourcereponame:Repositorio Institucional Universidad EAFIT
dc.sourceIngeniería y Ciencia; Vol 7, No 14 (2011)spa
dc.subject.keywordPulsed Arceng
dc.subject.keywordMicrostructureeng
dc.subject.keywordTin / Ticeng
dc.subject.keywordXpseng
dc.subject.keywordXrdeng
dc.subject.keywordArco Pulsadospa
dc.subject.keywordMicroestructuraspa
dc.subject.keywordTin/Ticspa
dc.subject.keywordXpsspa
dc.subject.keywordXrdspa
dc.titleInfluence of substrate temperature on the microstructure of TiN/TiCeng
dc.titleInfluencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiCspa
dc.typearticleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleeng
dc.typepublishedVersioneng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioneng
dc.type.localArtículospa

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