Producción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivo

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dc.contributor.advisorArroyave Franco, Mauriciospa
dc.contributor.advisorPalacio Espinosa, Claudia Constanzaspa
dc.contributor.authorHernández Higuita, Javier Ignacio
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.creator.degreeMagíster en Física Aplicadaspa
dc.creator.emailjherna20@eafit.edu.cospa
dc.creator.grantorUniversidad EAFIT Research Triangle Nanotechnology Network (RTNN)spa
dc.date.accessioned2020-08-21T21:58:12Z
dc.date.available2020-08-21T21:58:12Z
dc.date.issued2020
dc.identifier.ddc621.38152 H557
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/17554
dc.language.isospaspa
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.publisher.departmentEscuela de Ciencias. Departamento de Ciencias Básicasspa
dc.publisher.placeMedellínspa
dc.publisher.programMaestría en Física Aplicadaspa
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/closedAccessspa
dc.rights.localAcceso cerradospa
dc.subjectReniospa
dc.subjectNitruro de reniospa
dc.subjectMagnetron sputteringspa
dc.subjectBlenda de cincspa
dc.subjectProceso reactivospa
dc.subject.lembRENIOspa
dc.subject.lembCOMPUESTOS DE RENIOspa
dc.subject.lembPRUEBAS QUÍMICASspa
dc.subject.lembESFALERITAspa
dc.titleProducción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivospa
dc.typemasterThesiseng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesiseng
dc.type.hasVersionacceptedVersioneng
dc.type.localTesis de Maestríaspa

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