Producción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivo
Fecha
2020
Autores
Hernández Higuita, Javier Ignacio
Título de la revista
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Editor
Universidad EAFIT
Resumen
Descripción
Palabras clave
Renio, Nitruro de renio, Magnetron sputtering, Blenda de cinc, Proceso reactivo