Producción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivo

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Fecha

2020

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Editor

Universidad EAFIT

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Descripción

Palabras clave

Renio , Nitruro de renio , Magnetron sputtering , Blenda de cinc , Proceso reactivo

Citación

URI

http://hdl.handle.net/10784/17554

Colecciones

Maestría en Física Aplicada (tesis)