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Producción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivo

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dc.contributor.advisorArroyave Franco, Mauricio
dc.contributor.advisorPalacio Espinosa, Claudia Constanza
dc.contributor.authorHernández Higuita, Javier Ignacio
dc.contributor.sponsorUniversidad EAFIT
dc.contributor.sponsorResearch Triangle Nanotechnology Network (RTNN)
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.creator.emailjherna20@eafit.edu.cospa
dc.date.accessioned2020-08-21T21:58:12Z
dc.date.available2020-08-21T21:58:12Z
dc.date.issued2020
dc.description.degreelevelMaestríaspa
dc.description.degreenameMagíster en Física Aplicadaspa
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.ddc621.38152 H557
dc.identifier.instnameinstname:Universidad EAFIT
dc.identifier.reponamereponame:Repositorio Institucional Universidad EAFIT
dc.identifier.repourlrepourl:https://repository.eafit.edu.co
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10784/17554
dc.language.isospa
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.publisher.departmentDepartamento de Ciencias Básicasspa
dc.publisher.facultyEscuela de Cienciasspa
dc.publisher.placeMedellínspa
dc.publisher.programMaestría en Física Aplicadaspa
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/closedAccess
dc.rights.coarhttp://purl.org/coar/access_right/c_14cb
dc.rights.localAcceso metadatos
dc.subjectReniospa
dc.subjectNitruro de reniospa
dc.subjectMagnetron sputteringspa
dc.subjectBlenda de cincspa
dc.subjectProceso reactivospa
dc.subject.lembRENIOspa
dc.subject.lembCOMPUESTOS DE RENIOspa
dc.subject.lembPRUEBAS QUÍMICASspa
dc.subject.lembESFALERITAspa
dc.titleProducción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivo
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
dc.type.coarhttp://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
dc.type.coarversionhttp://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
dc.type.localTesis de Maestríaspa
dc.type.redcolhttp://purl.org/redcol/resource_type/TM
dc.type.versioninfo:eu-repo/semantics/acceptedVersion
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