Implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasmas fríos usando diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmuir

Fecha

2013

Autores

Correa Urán, Carlos Germán

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Editor

Universidad EAFIT

Resumen

En el siguiente trabajo se presenta la implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasma fríos, usando el diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmüir -- Se desarrolló un software llamado DEE- EAFIT para el cálculo de diseños estadísticos de experimentos y se implementó una plataforma hardware para la adquisición de los datos provenientes de una sonda doble de Langmüir insertada en un reactor de plasma frío, con el objetivo de validar las herramientas se usaron datos de literatura, un reactor de plasma tipo PACVD y para evaluar la que tan amigable es el software se desarrolló una prueba en ambiente industrial con operario no expertos

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