Implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasmas fríos usando diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmuir

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dc.contributor.advisorJaramillo, Juan Manuelspa
dc.contributor.advisorAcosta, Diegospa
dc.contributor.authorCorrea Urán, Carlos Germánspa
dc.coverage.spatialMedellín de: Lat: 06 15 00 N degrees minutes Lat: 6.2500 decimal degrees Long: 075 36 00 W degrees minutes Long: -75.6000 decimal degreeseng
dc.creator.degreeMagíster en Física Aplicadaspa
dc.creator.emailccorrea7@eafit.edu.cospa
dc.date.accessioned2014-03-25T18:21:50Z
dc.date.available2014-03-25T18:21:50Z
dc.date.issued2013
dc.description.abstractEn el siguiente trabajo se presenta la implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasma fríos, usando el diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmüir -- Se desarrolló un software llamado DEE- EAFIT para el cálculo de diseños estadísticos de experimentos y se implementó una plataforma hardware para la adquisición de los datos provenientes de una sonda doble de Langmüir insertada en un reactor de plasma frío, con el objetivo de validar las herramientas se usaron datos de literatura, un reactor de plasma tipo PACVD y para evaluar la que tan amigable es el software se desarrolló una prueba en ambiente industrial con operario no expertosspa
dc.identifier.other621.044CD C824
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/1416
dc.language.isospaspa
dc.publisherUniversidad EAFITspa
dc.publisher.departmentEscuela de Ciencias y Humanidades. Departamento de Ciencias Básicasspa
dc.publisher.programMaestría en Física Aplicadaspa
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesseng
dc.rights.localAcceso abiertospa
dc.subjectDiseño de Experimentos Factorialesspa
dc.subjectSonda de Langmuirspa
dc.subjectEstadísticaspa
dc.subjectPlasma (Gases Ionizados)spa
dc.subjectDiseño de Experimentosspa
dc.subjectTesis. Maestría en Física Aplicadaspa
dc.subject.keywordElectrostaticseng
dc.subject.keywordPlasma Frequencieseng
dc.subject.keywordPlasma Probeseng
dc.subject.keywordFrequency of oscillating systemseng
dc.subject.keywordPlasma Probeseng
dc.subject.keywordZener diodeeng
dc.subject.keywordExperimental designeng
dc.subject.keywordMathematical statisticseng
dc.subject.keywordMathematical modelseng
dc.subject.keywordElectric discharges through gaseseng
dc.subject.lembELECTROSTÁTICAspa
dc.subject.lembFRECUENCIAS DE PLASMAspa
dc.subject.lembSONDAS DE PLASMAspa
dc.subject.lembFRECUENCIAS DE SISTEMAS OSCILANTESspa
dc.subject.lembDIODO ZENERspa
dc.subject.lembDISEÑO EXPERIMENTALspa
dc.subject.lembESTADÍSTICA MATEMÁTICAspa
dc.subject.lembMODELOS MATEMÁTICOSspa
dc.subject.lembDESCARGAS ELÉCTRICAS A TRAVÉS DE GASESspa
dc.titleImplementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasmas fríos usando diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmuirspa
dc.typemasterThesiseng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
dc.type.hasVersionacceptedVersioneng
dc.type.localTesis de Maestríaspa

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