Structural and Morphological Properties of Titanium Aluminum Nitride Coatings Produced by Triode Magnetron Sputtering

Fecha

2014-06-24

Autores

Devia, D M
Rodriguez-Restrepo, L. V
Restrepo-Parra, E

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Editor

Universidad EAFIT

Resumen

Descripción

TixAl1-xN coatings were grown using the triode magnetron sputtering technique varying the bias voltage between -40 V and -150V. The influence of bias voltage on structural and morphological properties was analyzed by means of energy dispersive spectroscop
Los recubrimientos TixAl1-xN se cultivaron usando la técnica de pulverización catódica con magnetrón triodo, variando el voltaje de polarización entre -40 V y -150V. La influencia del voltaje de polarización en las propiedades estructurales y morfológicas

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