Producción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivo

Arroyave Franco, MauricioPalacio Espinosa, Claudia Constanza2020-08-212020https://hdl.handle.net/10784/17554application/pdfspaRenioNitruro de renioMagnetron sputteringBlenda de cincProceso reactivoProducción de recubrimientos de nitruro de renio (ReNx) depositados mediante la técnica de magnetrón sputtering reactivoinfo:eu-repo/semantics/masterThesisinfo:eu-repo/semantics/closedAccessRENIOCOMPUESTOS DE RENIOPRUEBAS QUÍMICASESFALERITAAcceso metadatos2020-08-21Hernández Higuita, Javier Ignacio621.38152 H557reponame:Repositorio Institucional Universidad EAFITinstname:Universidad EAFITrepourl:https://repository.eafit.edu.cohttp://purl.org/coar/access_right/c_14cb