Jaramillo, Juan ManuelAcosta, Diego2014-03-252013621.044CD C824http://hdl.handle.net/10784/1416En el siguiente trabajo se presenta la implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasma fríos, usando el diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmüir -- Se desarrolló un software llamado DEE- EAFIT para el cálculo de diseños estadísticos de experimentos y se implementó una plataforma hardware para la adquisición de los datos provenientes de una sonda doble de Langmüir insertada en un reactor de plasma frío, con el objetivo de validar las herramientas se usaron datos de literatura, un reactor de plasma tipo PACVD y para evaluar la que tan amigable es el software se desarrolló una prueba en ambiente industrial con operario no expertosspaDiseño de Experimentos FactorialesSonda de LangmuirEstadísticaPlasma (Gases Ionizados)Diseño de ExperimentosTesis. Maestría en Física AplicadamasterThesisinfo:eu-repo/semantics/openAccessELECTROSTÁTICAFRECUENCIAS DE PLASMASONDAS DE PLASMAFRECUENCIAS DE SISTEMAS OSCILANTESDIODO ZENERDISEÑO EXPERIMENTALESTADÍSTICA MATEMÁTICAMODELOS MATEMÁTICOSDESCARGAS ELÉCTRICAS A TRAVÉS DE GASESElectrostaticsPlasma FrequenciesPlasma ProbesFrequency of oscillating systemsPlasma ProbesZener diodeExperimental designMathematical statisticsMathematical modelsElectric discharges through gasesAcceso abierto2014-03-25Correa Urán, Carlos Germán