Control y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricación

Jaramillo Ocampo, Juan ManuelVelásquez López, Alejandro2014-10-072009621.3815CDG933http://hdl.handle.net/10784/4287spaMicrofabricaciónMicrolitografíaControl y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricaciónbachelorThesisinfo:eu-repo/semantics/openAccessMICROELECTRÓNICACIRCUITOS INTEGRADOSSEMICONDUCTORESNANOCRISTALES SEMICONDUCTORESTRANSDUCTORES DE PRESIÓNPIROELECTRICIDAD Y PIEZOELECTRICIDADMÁQUINAS HERRAMIENTASMOTORESMICROMECÁNICAMicroelectronicsIntegrated circuitsSemiconductorsSemiconductor nanocrystalsPressure transducersPyro- and piezo-electricityMachine-toolsMotorsMicromechanicsAcceso abierto2014-10-07Guzmán Díaz, Sebastián