Diseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión.

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dc.citation.journalTitleIngeniería Y Ciencia
dc.contributor.authorVelásquez, A. A.
dc.contributor.authorGutíerrez, Yhefferson Fernando
dc.contributor.authorURQUIJO, J. P
dc.contributor.departmentUniversidad EAFIT. Departamento de Ciencias Básicas
dc.contributor.researchgroupElectromagnetismo Aplicado (Gema)spa
dc.date.accessioned2021-03-23T21:39:33Z
dc.date.available2021-03-23T21:39:33Z
dc.date.issued2014-01-01
dc.description.abstractSe presenta el diseño y construcción de un sistema mecatrónico automatizado para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión. El sistema consta de un porta sustrato que realiza desplazamientos verticales...spa
dc.identifierhttps://eafit.fundanetsuite.com/Publicaciones/ProdCientif/PublicacionFrw.aspx?id=5691
dc.identifier.issn17949165spa
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/27168
dc.language.isospaeng
dc.publisherFondo Editorial Universidad EAFIT
dc.rightshttps://v2.sherpa.ac.uk/id/publication/issn/1794-9165
dc.sourceIngeniería Y Ciencia
dc.subject.keywordReactor de recubrimiento por inmersiónspa
dc.subject.keywordsistema mecatrónicospa
dc.subject.keywordpelículas delgadasspa
dc.subject.keywordautomatización.spa
dc.titleDiseño y construcción de un reactor mecatrónico para el crecimiento de películas delgadas por la técnica de recubrimiento por inmersión.spa
dc.typearticleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioneng
dc.typepublishedVersioneng
dc.type.localArtículospa

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