Synthesis of alumina thin films using reactive magnetron sputtering method

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dc.citation.journalTitleJournal Of Physics: Conference Series
dc.contributor.authorPALACIO, CLAUDIA CONSTANZA
dc.contributor.departmentUniversidad EAFIT. Departamento de Ciencias Básicas
dc.contributor.researchgroupElectromagnetismo Aplicado (Gema)spa
dc.date.accessioned2021-03-23T21:39:36Z
dc.date.available2021-03-23T21:39:36Z
dc.date.issued2017-01-01
dc.identifierhttps://eafit.fundanetsuite.com/Publicaciones/ProdCientif/PublicacionFrw.aspx?id=13464
dc.identifier.issn17426588spa
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/27202
dc.sourceJournal Of Physics: Conference Series
dc.titleSynthesis of alumina thin films using reactive magnetron sputtering methodeng
dc.typearticleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleeng
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioneng
dc.typepublishedVersioneng
dc.type.localArtículospa

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