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dc.creatorAbad Restrepo, Ana Cristina
dc.creatorJaramillo, Juan Manuel
dc.creatorVidal Ramírez, Alejandra
dc.creatorMuriel Gil, Luisa Fernanda
dc.creatorUribe Dorado, Jose Ignacio
dc.creatorRincon, Diana Marcela .
dc.date.available2016-02-01T22:17:08Z
dc.date.issued2012
dc.date.issued2012
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/7962
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10784/7962
dc.descriptionEste documento incluye un texto que responde la pregunta planteada en el título, un mapa de contenidos y una guía metodológica para la realización de un taller. El texto inicia definiendo máquina como un dispositivo con partes estacionarias y móviles que se combinan para generar, transformar o utilizar la energía mecánica. Por su parte, el sufijo micro se refiere a una escala, una longitud, una micra es una millonésima parte de un metro. El contenido del documento se centra en los procesos de manufactura propios de la microelectrónica, la cual requiere de dos herramientas fundamentales: la tecnología plasma y los procesos litográficos. El plasma es un estado de la materia que se encuentra en variación continúa entre gas y plasma, y tiene la capacidad de blindar los potenciales eléctricos externos en una escala de longitud Debye. El plasma permite modificar la superficie o el volumen de un material, existen diferentes tipos de reactores de plasma, el más popular es aquel formado entre 2 electrodos de placas planas paralelas unidas a una fuente de potencia. Por su parte, el proceso litográfico modifica el substrato de cilicio cristalino al grabar sobre él una determinada estructura.spa
dc.language.isospaspa
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccesseng
dc.subjectUniversidad de los niños EAFITspa
dc.subjectMicroelectrónicaspa
dc.subjectPlasmaspa
dc.subjectReactoresspa
dc.subjectProceso litográficospa
dc.subjectMicroscópicospa
dc.title¿Cómo hacer máquinas microscópicas?spa
dc.typearticlespa
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/workingPapereng
dc.typeworkingPapereng
dc.rights.accessRightsrestrictedAccessspa
dc.type.spaDocumento de trabajo de investigaciónspa
dc.rights.accesoAcceso restringidospa
dc.date.accessioned2016-02-01T22:17:08Z
dc.type.hasVersiondrafspa


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