Implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasmas fríos usando diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmuir
Fecha
2013
Autores
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Editor
Universidad EAFIT
Resumen
En el siguiente trabajo se presenta la implementación de una metodología para la caracterización de reactores de plasma fríos, usando el diseño estadístico de experimentos y la sonda doble de Langmüir -- Se desarrolló un software llamado DEE-
EAFIT para el cálculo de diseños estadísticos de experimentos y se implementó una
plataforma hardware para la adquisición de los datos provenientes de una sonda doble
de Langmüir insertada en un reactor de plasma frío, con el objetivo de validar las herramientas se usaron datos de literatura, un reactor de plasma tipo PACVD y para
evaluar la que tan amigable es el software se desarrolló una prueba en ambiente
industrial con operario no expertos
Descripción
Palabras clave
Diseño de Experimentos Factoriales, Sonda de Langmuir, Estadística, Plasma (Gases Ionizados), Diseño de Experimentos, Tesis. Maestría en Física Aplicada